淄博高新區：聚力創“芯” 智造未來
來源：未知 日期：2019-04-30 點擊：次
“MEMS產業本身就是信息產業的一個重要發展方向，也是傳感器和智能微系統行業顛覆性技術。淄博市、高新區和清華大學選擇MEMS行業進行投資和開發，經過幾年努力已經開花結果。”中國工程院院士、清華大學副校長尤政在接受記者采訪時表示。
MEMS是什么？它集中了當今科技發展的諸多尖端成果，在智能化“感知”時代，MEMS以其體積小、功耗低、靈敏度高等優點，成為智能傳感的核心交互器件，廣泛應用于國防軍事、現代工業、民用消費類電子、汽車電子、可穿戴可植入醫療等領域，是繼微電子之后又一個對國計民生具有重要影響的顛覆性技術，也是信息化、智能化的關鍵核心技術，擁有非常廣闊的應用前景。
高新區準確捕捉到這一智能產業的發展趨勢，與清華大學機械工程學院成立國家高新區MEMS研究院。該研究院是微機電制造領域國內首家校地共建的研究院，借助清華大學在MEMS領域的科研和人才優勢，依托淄博集成電路產業基礎和政策優勢，共同搭建具有國際先進水平的6英寸硅基MEMS中試代工平臺、著力打造國家級微系統產業化基地、引領國內MEMS器件產業化進程，實現電子信息產業的跨越式發展。
2018年3月，首屆中國(淄博)MEMS產業戰略高峰論壇在我市舉行。期間，高新區MEMS研究院自主研發的MEMS陀螺、加速度計、繼電器等產品正式下線。MEMS陀螺和MEMS加速度計，廣泛應用于軍用和民用的慣性產品領域，例如無人機、無人艦、自動駕駛汽車、手機以及所有可移動設備的導航功能；MEMS繼電器是極其微小的開關陣列，一個小拇指的指甲上就能擺放4個，具有高靈敏度和高可靠性，在智能手機、汽車、現代工業等領域普遍使用。研究院在研的還有MEMS微探針，是原子力顯微鏡的最重要核心部件，目前國內所有的原子力顯微鏡探針完全依賴進口，微探針的國產化，將大幅降低采購成本，打破國外壟斷，實現又一項MEMS關鍵產品的自主研發。去年5月，高新區MEMS研究院承擔的“MEMS產業研究院”項目通過山東省科技廳、淄博市科技局、高新區科技局的聯合專家組驗收，項目實施期間獲得首批市高新技術創新“雙十計劃”立項。“目前，研究院已建成國內首家MEMS專業化中試代工平臺，可為淄博本地乃至省內外客戶提供MEMS仿真設計、小試、中試以及代工服務。”高新區MEMS研究院科技管理部部長劉通說。
記者在MEMS研究院投資組建的國有控股公司——山東博華電子科技發展有限公司的生產基地時看到，企業廠房面積5000平方米，分環境潔凈區、動力區、辦公區等。潔凈面積1540平方米，百級區340平方米、千級區400平方米，萬級區800平方米，超凈規模國內領先。擁有德國SUSS公司光刻機、奧德利EVG公司鍵合機、英國SPTS公司深硅刻蝕機等國際一流6英寸微納米技術制造設備，產品的測試環境也居國內先進水平。
山東博華電子科技發展有限公司僅是高新區MEMS產業園區所入駐的企業之一。整個園區占地面積523畝，計劃總投資30億元，規劃建筑面積56萬平方米。目前，同方股份有限公司、臺灣點晶科技有限公司、航天704所、中國兵器集團公司、中電集團55所、哈工大電路設計公司等多家科研機構和企業已達成入駐意向。
未來，在繼續完善MEMS中試代工平臺的基礎上，延伸建設MEMS設計與開發、小試與中試、封裝與測試平臺，通過淄博國家高新區MEMS研究院的技術牽引，淄博將逐步建成國家級MEMS產業基地、軍民融合發展示范基地、產學研用全產業鏈核心共性技術協同創新平臺。可以預見，這一園區將打造成全球領先的國際化MEMS相關產業集群，最終建成集研發、試驗、檢測、生產、辦公、展示與交易一體的MEMS產業示范園。
